ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਬਣਤਰ

ਇਸ ਸੈਂਸਰ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਸਿਲਿਕਨ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਚਿੱਪ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਏਕੀਕਰਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਰੋਧਕ ਪੱਟੀ ਨੂੰ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਉੱਤੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਚਿੱਪ ਦੀ ਘੇਰਾਬੰਦੀ ਨੂੰ ਸ਼ੈੱਲ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਪੈਕ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਲੀਡਾਂ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ, ਜਿਸਨੂੰ ਸਾਲਿਡ-ਸਟੇਟ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਚਿਪਕਣ ਵਾਲੇ ਸਟ੍ਰੇਨ ਗੇਜ ਤੋਂ ਵੱਖਰਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨੂੰ ਲਚਕੀਲੇ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਤੱਤਾਂ ਦੁਆਰਾ ਅਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬਾਹਰੀ ਬਲ ਨੂੰ ਮਹਿਸੂਸ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਪਰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਦੁਆਰਾ ਮਾਪਿਆ ਦਬਾਅ ਮਹਿਸੂਸ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਦਾ ਇੱਕ ਪਾਸਾ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਕੈਵਿਟੀ ਹੈ ਜੋ ਮਾਪੇ ਗਏ ਦਬਾਅ ਨਾਲ ਸੰਚਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਦੂਜਾ ਪਾਸਾ ਇੱਕ ਘੱਟ-ਦਬਾਅ ਵਾਲੀ ਗੁਫਾ ਹੈ ਜੋ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਾਲ ਸੰਚਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਘੇਰੇ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਚੱਕਰ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਡਿਜ਼ਾਇਨ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਵਿਆਸ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ ਦਾ ਅਨੁਪਾਤ ਲਗਭਗ 20 ~ 60 ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਚਾਰ ਪੀ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਵਾਲੀਆਂ ਪੱਟੀਆਂ ਗੋਲਾਕਾਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ 'ਤੇ ਸਥਾਨਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਫੈਲੀਆਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਇੱਕ ਪੂਰੇ ਪੁਲ ਵਿੱਚ ਜੁੜੀਆਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਦੋ ਸੰਕੁਚਿਤ ਤਣਾਅ ਜ਼ੋਨ ਵਿੱਚ ਹਨ ਅਤੇ ਦੂਜੇ ਦੋ ਤਣਾਅ ਵਾਲੇ ਤਣਾਅ ਜ਼ੋਨ ਵਿੱਚ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਦੇ ਕੇਂਦਰ ਦੇ ਸਬੰਧ ਵਿੱਚ ਸਮਮਿਤੀ ਹਨ।

ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਵਰਗਾਕਾਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਲਮ ਸੈਂਸਰ ਵੀ ਹਨ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਿਲੰਡਰ ਸੰਵੇਦਕ ਵੀ ਸਿਲਿਕਨ ਸਿਲੰਡਰ ਦੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪਲੇਨ ਦੀ ਇੱਕ ਖਾਸ ਦਿਸ਼ਾ ਵਿੱਚ ਫੈਲਣ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਪੱਟੀਆਂ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਦੋ ਤਣਾਅ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਪੱਟੀਆਂ ਅਤੇ ਦੋ ਸੰਕੁਚਿਤ ਤਣਾਅ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਪੱਟੀਆਂ ਇੱਕ ਪੂਰਾ ਪੁਲ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ।

ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸੈਂਸਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮਗਰੀ ਦੇ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਘਟਾਓਣਾ ਉੱਤੇ ਫੈਲਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਇੱਕ ਉਪਕਰਣ ਹੈ। ਇਸ ਦੇ ਘਟਾਓਣਾ ਨੂੰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਾਪਣ ਵਾਲੇ ਸੂਚਕ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਇੱਕ ਪੁਲ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚ ਜੁੜਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ।

ਜਦੋਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਬਾਹਰੀ ਬਲ ਦੁਆਰਾ ਵਿਗਾੜ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਮੁੱਲ ਬਦਲ ਜਾਣਗੇ ਅਤੇ ਪੁਲ ਅਨੁਸਾਰੀ ਅਸੰਤੁਲਿਤ ਆਉਟਪੁੱਟ ਪੈਦਾ ਕਰੇਗਾ। ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸੈਂਸਰ ਵਜੋਂ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਬਸਟਰੇਟਸ (ਜਾਂ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ) ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਜਰਨੀਅਮ ਵੇਫਰ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਬਣੇ ਸਿਲਿਕਨ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸੈਂਸਰਾਂ ਨੇ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਧਿਆਨ ਖਿੱਚਿਆ ਹੈ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਦਬਾਅ ਅਤੇ ਗਤੀ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਠੋਸ-ਸਟੇਟ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸੈਂਸਰ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।