ਕਾਰਟਰ ਖੁਦਾਈ ਲਈ ਇੰਜਣ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ 2CP3-68 1946725

ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਦਾ ਇੱਕ ਤਰੀਕਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਕਦਮ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

S1, ਇੱਕ ਪਿਛਲੀ ਸਤ੍ਹਾ ਅਤੇ ਇੱਕ ਫਰੰਟ ਸਤਹ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ; ਵੇਫਰ ਦੀ ਮੂਹਰਲੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸਟ੍ਰਿਪ ਅਤੇ ਇੱਕ ਭਾਰੀ ਡੋਪਡ ਸੰਪਰਕ ਖੇਤਰ ਬਣਾਉਣਾ; ਵੇਫਰ ਦੀ ਪਿਛਲੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਕੇ ਇੱਕ ਦਬਾਅ ਡੂੰਘੀ ਖੋਲ ਬਣਾਉਣਾ;

S2, ਵੇਫਰ ਦੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਇੱਕ ਸਹਾਇਤਾ ਸ਼ੀਟ ਨੂੰ ਬੰਨ੍ਹਣਾ;

S3, ਵੇਫਰ ਦੇ ਅਗਲੇ ਪਾਸੇ ਲੀਡ ਹੋਲ ਅਤੇ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਤਾਰਾਂ ਦਾ ਨਿਰਮਾਣ ਕਰਨਾ, ਅਤੇ ਵ੍ਹੀਟਸਟੋਨ ਬ੍ਰਿਜ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸਟ੍ਰਿਪਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ;

S4, ਵੇਫਰ ਦੀ ਮੂਹਰਲੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਪਰਤ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ ਅਤੇ ਬਣਾਉਣਾ, ਅਤੇ ਇੱਕ ਧਾਤ ਪੈਡ ਖੇਤਰ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਪਰਤ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਖੋਲ੍ਹਣਾ। 2. ਦਾਅਵੇ 1 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿਧੀ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ S1 ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਕਦਮਾਂ ਨੂੰ ਸ਼ਾਮਲ ਕਰਦਾ ਹੈ: S11: ਇੱਕ ਪਿਛਲੀ ਸਤ੍ਹਾ ਅਤੇ ਇੱਕ ਸਾਹਮਣੇ ਵਾਲੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨਾ, ਅਤੇ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਦਬਾਅ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕਰਨਾ; S12: ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵੇਫਰ ਦੀ ਮੂਹਰਲੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸਟ੍ਰਿਪਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਫੈਲਾਉਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਮਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੰਪਰਕ ਖੇਤਰਾਂ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਡੋਪ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ; S13: ਵੇਫਰ ਦੀ ਅਗਲੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਸੁਰੱਖਿਆ ਪਰਤ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ ਅਤੇ ਬਣਾਉਣਾ; S14: ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਇੱਕ ਦਬਾਅ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵੇਫਰ ਦੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਇੱਕ ਦਬਾਅ ਡੂੰਘੀ ਖੋਲ ਬਣਾਉਣਾ। 3. ਦਾਅਵੇ 1 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿਧੀ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ SOI ਹੈ।

1962 ਵਿੱਚ, ਟੁਫਟੇ ਐਟ ਅਲ. ਨੇ ਪਹਿਲੀ ਵਾਰ ਫੈਲੇ ਹੋਏ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਸਟ੍ਰਿਪਸ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਫਿਲਮ ਢਾਂਚੇ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦਾ ਨਿਰਮਾਣ ਕੀਤਾ, ਅਤੇ ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ 'ਤੇ ਖੋਜ ਸ਼ੁਰੂ ਕੀਤੀ। 1960 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਦੇ ਅਖੀਰ ਅਤੇ 1970 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਦੇ ਸ਼ੁਰੂ ਵਿੱਚ, ਤਿੰਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੀ ਦਿੱਖ, ਅਰਥਾਤ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਐਨੀਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਐਚਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ, ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਐਨੋਡਿਕ ਬੰਧਨ ਤਕਨਾਲੋਜੀ, ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਵਿੱਚ ਵੱਡੀਆਂ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਲਿਆਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸ ਨੇ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਈ। . 1980 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਤੋਂ, ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੈਚਿਨਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਹੋਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਐਨੀਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਐਚਿੰਗ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ, ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਡੋਪਿੰਗ, ਆਇਨ ਇਮਪਲਾਂਟੇਸ਼ਨ, ਬੰਧਨ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ, ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦਾ ਆਕਾਰ ਲਗਾਤਾਰ ਘਟਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਉਟਪੁੱਟ ਉੱਚ ਹੈ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਹੈ। ਇਸ ਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਨਵੀਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੈਚਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦਾ ਵਿਕਾਸ ਅਤੇ ਉਪਯੋਗ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।