ਪਾਸਟ ਫਿਊਲ ਕਾਮਨ ਰੇਲ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ 06E906051K 'ਤੇ ਲਾਗੂ

1. ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਇੱਕ ਤਰੀਕਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਇੱਕ ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤ, ਇੱਕ ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤ ਅਤੇ ਇੱਕ ਦੂਜੀ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤ ਬਣਦੀ ਹੈ।

ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਹੇਠਲੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਲੇਟ, ਇੱਕ ਪਹਿਲਾ ਆਪਸੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਉਸੇ ਪਰਤ 'ਤੇ ਸਥਿਤ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਹੇਠਲੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਲੇਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕ ਦੂਜੇ ਤੋਂ ਦੂਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਜੋੜਨ ਵਾਲੀਆਂ ਪਰਤਾਂ;

ਹੇਠਲੇ ਧਰੁਵੀ ਪਲੇਟ ਦੇ ਉੱਪਰ ਬਲੀ ਦੀ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣਾ;

ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤ, ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਲੇਅਰ ਅਤੇ ਕੁਰਬਾਨੀ ਪਰਤ 'ਤੇ ਇੱਕ ਉਪਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਲੇਟ ਬਣਾਉਣਾ;

ਬਲੀ ਦੀ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਅਤੇ ਉਪਰਲੀ ਪਲੇਟ ਬਣਾਉਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਪਹਿਲੀ ਅੰਤਰ-ਸੰਬੰਧੀ ਪਰਤ ਵਿੱਚ

ਇੱਕ ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਗਰੂਵ ਬਣਾਉਣਾ, ਅਤੇ ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਲੇਅਰ ਨਾਲ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਜੁੜਨ ਲਈ ਉੱਪਰੀ ਪਲੇਟ ਨਾਲ ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਗਰੋਵ ਨੂੰ ਭਰਨਾ;ਜਾਂ,

ਉੱਪਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਲੇਟ ਬਣਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਉੱਪਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਲੇਟ ਅਤੇ ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਕਨੈਕਟਿੰਗ ਗਰੂਵ ਬਣਦੇ ਹਨ, ਜੋ

ਉੱਪਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪਲੇਟ ਨੂੰ ਜੋੜਨ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਸੰਚਾਲਕ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣਾ ਅਤੇ ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਗਰੋਵ ਵਿੱਚ ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਪਰਤ;

ਉੱਪਰਲੀ ਪਲੇਟ ਅਤੇ ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਕਨੈਕਸ਼ਨ ਪਰਤ ਨੂੰ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਜੋੜਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਬਲੀ ਦੀ ਪਰਤ ਨੂੰ ਹਟਾ ਕੇ ਇੱਕ ਕੈਵੀਟੀ ਬਣਾਉਣਾ।

2. ਦਾਅਵੇ 1 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪਹਿਲੀ ਪਰਤ ਵਿੱਚ

ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਲੇਅਰ 'ਤੇ ਬਲੀਦਾਨ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਕਦਮ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

ਪਹਿਲੀ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਲੇਅਰ 'ਤੇ ਕੁਰਬਾਨੀ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਪਰਤ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ;

ਬਲੀ ਦੀ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਬਲੀ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਪਰਤ ਦਾ ਪੈਟਰਨਿੰਗ।

3. ਦਾਅਵੇ 2 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਤੇ ਉੱਕਰੀ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

ਬਲੀਦਾਨ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਪਰਤ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਪੈਟਰਨ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

4. ਦਾਅਵੇ 3 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਬਲੀ ਦੀ ਪਰਤ

ਸਮੱਗਰੀ ਅਮੋਰਫਸ ਕਾਰਬਨ ਜਾਂ ਜਰਮੇਨੀਅਮ ਹੈ।

5. ਦਾਅਵੇ 4 ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਤਰੀਕਾ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਬਲੀ ਦੀ ਪਰਤ

ਸਮੱਗਰੀ ਬੇਕਾਰ ਕਾਰਬਨ ਹੈ;

ਬਲੀਦਾਨ ਸਮੱਗਰੀ ਪਰਤ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਵਿੱਚ O2, CO, N2 ਅਤੇ Ar ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ;

ਬਲੀਦਾਨ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਪਰਤ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਮਾਪਦੰਡ ਹਨ: O2 ਦੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਰੇਂਜ 18 SCCM ~ 22 SCCM ਹੈ, ਅਤੇ CO ਦੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ 10% ਹੈ।

ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ 90 SCCM ਤੋਂ 110 SCCM ਤੱਕ, N2 ਦੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ 90 SCCM ਤੋਂ 110 SCCM ਤੱਕ, ਅਤੇ Ar ਦੀ ਵਹਾਅ ਦਰ ਸੀਮਾ ਹੈ।

ਰੇਂਜ 90 SCCM ~ 110 SCCM ਹੈ, ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਰੇਂਜ 90 mtor ~ 110 mtor ਹੈ, ਅਤੇ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਹੈ

540w - 660w.