ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਐਨ-ਟਾਈਪ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਜੋਂ ਵਰਤਦਾ ਹੈ।ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਇੱਕ ਖਾਸ ਜਿਓਮੈਟਰੀ ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਲਚਕੀਲੇ ਤਣਾਅ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਵਿੱਚ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਤਣਾਅ-ਸਹਿਣ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ 'ਤੇ, ਚਾਰ ਪੀ-ਕਿਸਮ ਦੇ ਫੈਲਾਅ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਦਿਸ਼ਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਬਣਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਇਹਨਾਂ ਚਾਰਾਂ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਾਂ ਨਾਲ ਇੱਕ ਚਾਰ-ਬਾਹਾਂ ਵਾਲਾ ਵ੍ਹੀਟਸਟੋਨ ਬ੍ਰਿਜ ਬਣਦਾ ਹੈ।ਬਾਹਰੀ ਬਲ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕ ਮੁੱਲਾਂ ਦੀਆਂ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਬਿਜਲਈ ਸਿਗਨਲ ਬਣ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ।ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਵਾਲਾ ਇਹ ਵ੍ਹੀਟਸਟੋਨ ਬ੍ਰਿਜ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਦਾ ਦਿਲ ਹੈ, ਜਿਸ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪੀਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਬ੍ਰਿਜ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਚਿੱਤਰ 1 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ)।ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਬ੍ਰਿਜ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਇਸ ਪ੍ਰਕਾਰ ਹਨ: ① ਬ੍ਰਿਜ ਦੀਆਂ ਚਾਰ ਬਾਹਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਮੁੱਲ ਬਰਾਬਰ ਹਨ (ਸਾਰੇ r0);② ਪੁਲ ਦੇ ਨਾਲ ਲੱਗਦੀਆਂ ਬਾਹਾਂ ਦਾ ਪੀਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਪ੍ਰਭਾਵ ਮੁੱਲ ਵਿੱਚ ਬਰਾਬਰ ਹੈ ਅਤੇ ਚਿੰਨ੍ਹ ਵਿੱਚ ਉਲਟ ਹੈ;③ ਪੁਲ ਦੀਆਂ ਚਾਰ ਬਾਹਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਤਾਪਮਾਨ ਗੁਣਾਂਕ ਇੱਕੋ ਜਿਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਉਹ ਹਮੇਸ਼ਾ ਇੱਕੋ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।ਅੰਜੀਰ ਵਿੱਚ.1, R0 ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਤਣਾਅ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਮੁੱਲ ਹੈ;RT ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਹੋਣ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਗੁਣਾਂਕ (α) ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਤਬਦੀਲੀ ਹੈ;Υ Rδ ਤਣਾਅ (ε) ਦੇ ਕਾਰਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੀ ਤਬਦੀਲੀ ਹੈ;ਬ੍ਰਿਜ ਦਾ ਆਉਟਪੁੱਟ ਵੋਲਟੇਜ u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (ਸਥਿਰ ਮੌਜੂਦਾ ਸਰੋਤ ਬ੍ਰਿਜ) ਹੈ।

ਜਿੱਥੇ I0 ਸਥਿਰ ਕਰੰਟ ਸਰੋਤ ਕਰੰਟ ਹੈ ਅਤੇ e ਸਥਿਰ ਵੋਲਟੇਜ ਸਰੋਤ ਵੋਲਟੇਜ ਹੈ।ਪਾਈਜ਼ੋਰੇਸਿਸਟਿਵ ਬ੍ਰਿਜ ਦੀ ਆਉਟਪੁੱਟ ਵੋਲਟੇਜ ਸਟ੍ਰੇਨ (ε) ਦੇ ਸਿੱਧੇ ਅਨੁਪਾਤਕ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਗੁਣਾਂਕ ਦੇ ਕਾਰਨ RT ਨਾਲ ਕੋਈ ਲੈਣਾ-ਦੇਣਾ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਂਸਰ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਵਹਿਣ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤਿਆ ਜਾਣ ਵਾਲਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਤਰਲ ਦਬਾਅ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਸੈਂਸਰ ਹੈ।ਇਸਦਾ ਮੁੱਖ ਢਾਂਚਾ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦਾ ਬਣਿਆ ਇੱਕ ਕੈਪਸੂਲ ਹੈ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਚਿੱਤਰ 2 ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ)।ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਨੂੰ ਇੱਕ ਕੱਪ ਵਿੱਚ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੱਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਉਹ ਹਿੱਸਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਬਾਹਰੀ ਸ਼ਕਤੀ ਨੂੰ ਸਹਿਣ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਦਬਾਅ ਦਾ ਪੁਲ ਕੱਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਰਿੰਗ ਪੈਡਸਟਲ ਇੱਕੋ ਸਿਲੀਕੋਨ ਸਿੰਗਲ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਮਗਰੀ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਡਾਇਆਫ੍ਰਾਮ ਨੂੰ ਪੈਡਸਟਲ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਕਿਸਮ ਦੇ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਸੈਂਸਰ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲਤਾ, ਛੋਟੀ ਮਾਤਰਾ ਅਤੇ ਠੋਸਤਾ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਹਵਾਬਾਜ਼ੀ, ਸਪੇਸ ਨੈਵੀਗੇਸ਼ਨ, ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਯੰਤਰਾਂ ਅਤੇ ਮੈਡੀਕਲ ਯੰਤਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਗਿਆ ਹੈ।